精密機(jī)械加工是一種用加工機(jī)械對(duì)工件的外形尺寸或性能進(jìn)行改變的過程。按被加工的工件處于的溫度狀態(tài),分為冷加工和熱加工。一般在常溫下加工,并且不引起工件的化學(xué)或物相變化,稱冷加工。
一般在高于或低于常溫狀態(tài)的加工,會(huì)引起工件的化學(xué)或物相變化,稱熱加工。冷加工按加工方式的差別可分為切削加工和壓力加工。熱加工常見有熱處理,鍛造,鑄造和焊接。細(xì)微加工,廣義地說,是指微小尺寸或者小操作尺寸的加工。
一般外形尺寸小于3毫米,以及少無切削加工工藝等都屬于細(xì)微加工。在航空航天、精密儀器、生物醫(yī)療等方面都有廣泛應(yīng)用。細(xì)微加工除了機(jī)械加工外,多采用電加工、化學(xué)加工、波加工、等離子、激光、粒子、光刻等工藝手段。
從狹義的角度來講,細(xì)微加工主要是指半導(dǎo)體集成電路制造技術(shù)。細(xì)微加工,不一定是精密加工。尤其在半導(dǎo)體集成電路制造技術(shù)領(lǐng)域,他們對(duì)精度的定義、要求與傳統(tǒng)機(jī)械加工的精度定義不一樣。數(shù)控機(jī)床不一定是精密機(jī)床。數(shù)控技術(shù)解決的是控制、檢測(cè)、反饋、運(yùn)算以及部分的執(zhí)行機(jī)構(gòu)。機(jī)械加工的精度主要還是取決于機(jī)械構(gòu)件的精度。
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